NGK MEGCON II+ PRC系列：半導(dǎo)體制造專(zhuān)用超純水防靜電解決方案

更新時(shí)間：2026-01-06

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MEGCON II+ 是一種通過(guò)特殊中空纖維膜向超純水中溶解二氧化碳?xì)怏w，從而控制超純水比電阻值的裝置。

在半導(dǎo)體精密清洗中，超純水因缺乏離子成分易產(chǎn)生靜電，導(dǎo)致電路破壞或微粒子再附著。該設(shè)備通過(guò)降低比電阻值賦予水導(dǎo)電性，防止靜電故障。

包括掩膜版/光罩（Mask/Reticule）、晶圓工藝（Wafer processing）、劃片工藝（Dicing process）、液晶工程及CMP工程等。

文檔列出了兩大系列，主要區(qū)別在于安裝類(lèi)型和氣源供給方式：

文檔提供了詳細(xì)的參數(shù)對(duì)比表，涵蓋以下關(guān)鍵指標(biāo)：

型號(hào)：1000ACD, 1200ACD, 2000ACD, 1220ACD, 2040ACD（柜式）；1000AD, 1200AD, 2000AD, 1220AD（機(jī)架式）。
最的大流量：范圍從1000 L/hr 到 4000 L/hr（2040ACD型號(hào)）。
控制范圍：根據(jù)不同型號(hào)，比電阻控制范圍在0.1 MΩ·cm 到 2.0 MΩ·cm之間。
外形尺寸與重量：

流量變動(dòng)適應(yīng)：即使流量波動(dòng)，也能自動(dòng)將比電阻值控制在設(shè)定值。
多種控制模式：根據(jù)使用點(diǎn)數(shù)量和流量，提供傳感器測(cè)量控制、解離預(yù)測(cè)控制、流量預(yù)測(cè)控制三種模式。
小流量控制：改善了小流量時(shí)的控制能力。

觸控屏幕：主畫(huà)面集成必要信息，可視性好，新增密碼鎖和警報(bào)歷史功能。
SECS轉(zhuǎn)換器：新增半導(dǎo)體制造設(shè)備SECS通信接口，可向主機(jī)發(fā)送比電阻、溫度、水量及報(bào)警數(shù)據(jù)。
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)系統(tǒng)：可將數(shù)據(jù)導(dǎo)入PC，以圖表形式顯示變化并保存，用于清洗作業(yè)的品質(zhì)管理。

采用中空纖維膜，相比鼓泡方式無(wú)粒子混入且CO?消耗少；配備膜干燥功能，在未使用時(shí)自動(dòng)干燥膜，延長(zhǎng)膜的使用壽命。

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