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更新時間：2026-01-06 
瀏覽次數(shù)：160MEGCON II+ 是一種通過特殊中空纖維膜向超純水中溶解二氧化碳氣體，從而控制超純水比電阻值的裝置。
在半導體精密清洗中，超純水因缺乏離子成分易產(chǎn)生靜電，導致電路破壞或微粒子再附著。該設備通過降低比電阻值賦予水導電性，防止靜電故障。
包括掩膜版/光罩（Mask/Reticule）、晶圓工藝（Wafer processing）、劃片工藝（Dicing process）、液晶工程及CMP工程等。
文檔列出了兩大系列，主要區(qū)別在于安裝類型和氣源供給方式：
柜式（Cabinet type）：內(nèi)置空氣泵，型號為PRC II。
機架式（Rack type）：分為內(nèi)置空氣泵（PRC II）和外部供氣（FRC II）兩種。
文檔提供了詳細的參數(shù)對比表，涵蓋以下關鍵指標：
型號：1000ACD, 1200ACD, 2000ACD, 1220ACD, 2040ACD（柜式）；1000AD, 1200AD, 2000AD, 1220AD（機架式）。
最的大流量：范圍從1000 L/hr 到 4000 L/hr（2040ACD型號）。
控制范圍：根據(jù)不同型號，比電阻控制范圍在0.1 MΩ·cm 到 2.0 MΩ·cm之間。
外形尺寸與重量：
柜式：520W×400D×1150H mm，重65kg。
機架式：480W×355D×200H mm，重15kg。
接液部材質(zhì)：細胞（氣體導入部）為PP，配管為PVC或波紋管。
超純水：壓力常用0.35MPa以下（最的大0.45MPa），溫度5~35℃，水質(zhì)10MΩ·cm以上。
CO?氣體：壓力0.1~0.2MPa，純度99.5%以上。
電源：AC100-240V (50/60Hz)。
流量變動適應：即使流量波動，也能自動將比電阻值控制在設定值。
多種控制模式：根據(jù)使用點數(shù)量和流量，提供傳感器測量控制、解離預測控制、流量預測控制三種模式。
小流量控制：改善了小流量時的控制能力。
觸控屏幕：主畫面集成必要信息，可視性好，新增密碼鎖和警報歷史功能。
SECS轉(zhuǎn)換器：新增半導體制造設備SECS通信接口，可向主機發(fā)送比電阻、溫度、水量及報警數(shù)據(jù)。
數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)：可將數(shù)據(jù)導入PC，以圖表形式顯示變化并保存，用于清洗作業(yè)的品質(zhì)管理。
采用中空纖維膜，相比鼓泡方式無粒子混入且CO?消耗少；配備膜干燥功能，在未使用時自動干燥膜，延長膜的使用壽命。
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