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日本YAMADA KOGAKU(山田光學)高亮度的定向光源怎么檢測半導體晶圓?

更新時間:2026-06-17      瀏覽次數(shù):131
這款設備通過提供超高亮度的定向光源,來輔助人工或機器視覺系統(tǒng)檢測半導體晶圓表面的微觀缺陷。它由YAMADA KOGAKU 公司生產(chǎn)的設備(如YP-150I、YP-250I及YP-250IL型號)的具體檢測原理和應用方式如下:

日本YAMADA KOGAKU(山田光學)高亮度的定向光源怎么檢測半導體晶圓?

核心檢測原理

這款設備本質(zhì)上是一個高亮度鹵素/LED光源裝置,它并不直接“分析"缺陷,而是通過提供極的致的照明條件,讓缺陷“無所遁形"。
  1. 超高照度(High Illuminance)
    • 設備的照度(Illuminance)達到 400,000 Lx以上。

    • 這一亮度是日光(Sunlight)的4倍以上。如此高強度的光線能夠穿透微觀層面,使得通常肉眼難以察覺的微小瑕疵產(chǎn)生明顯的光影變化,從而被觀察到。

  2. 宏觀觀察(Macro-observation)
    • 它屬于宏觀觀察照明設備,主要用于晶圓加工過程中的最終成品表面檢測。


具體檢測對象

在半導體晶圓和液晶基板的加工階段,該設備主要用于檢測以下類型的缺陷:
  • 異物/外來物(Foreign matter):附著在表面的灰塵或雜質(zhì)。

  • 劃痕(Scratches):表面的線性損傷。

  • 拋光不均(Polishing irregularities):表面處理不平整。

  • 暈染/霧狀缺陷(Haze):表面出現(xiàn)的模糊或散射現(xiàn)象。

  • 滑移線(Slips):晶體結(jié)構中的滑移痕跡。


技術規(guī)格與應用

特性維度詳細說明
光斑直徑根據(jù)型號不同(YP-150I / YP-250I / YP-250IL),照射直徑分為 30mmφ 40mmφ。
照射距離有效工作距離為 140mm220mm(取決于型號)。
光源類型提供 鹵素燈(高亮度,色溫約3400K)和 LED(壽命長達10,000小時)兩種選擇。
應用場景直接應用于 Wafer and glass substrate inspection(晶圓和玻璃基板檢測)。


總結(jié)

簡單來說,這款設備就像一個超級聚光燈。在檢測時,它將非常強的光線聚焦在晶圓表面(30mm或40mm范圍),利用光的反射、折射和散射原理,將微米甚至納米級的缺陷放大成肉眼或傳感器可見的明暗對比,從而幫助操作人員或自動化系統(tǒng)識別出異物、劃痕等問題。



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